集成電路無塵車間是為了滿意半導(dǎo)體制作工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振蕩、ESD、AMC操控等都有一定的懇求。相關(guān)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制作無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度操控精度**特性。 集成電路無塵車間規(guī)劃施工懇求 根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特性可以將潔凈室分為三品種型：循環(huán)空調(diào)機配合**送風(fēng)口體系、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封體系和FFU循環(huán)體系。 **種方式在小范圍低等級懇求的潔凈室車間規(guī)劃中被遍及應(yīng)用，關(guān)于大面積**級的潔凈車間則存在工作本錢過高、占用空間過大等缺陷。 第二種方式的規(guī)劃可以滿意集成電路制作無塵車間大面積**級的懇求，但工作本錢較高，而且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)度困難，體系晉級改造困難，因此操作靈敏性很低。第三種的FFU循環(huán)體系不只儉省工作空間、潔凈度安全性高、工作本錢低，而且操作靈敏性很高，可以在不影響消費的狀況下隨時停止體系晉級和調(diào)整，這些都能很好地滿意半導(dǎo)體制作的需求，因此在半導(dǎo)體制作業(yè)FFU循環(huán)體系逐步成為最主要的凈化規(guī)劃計劃。 FFU循環(huán)體系的特性是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔佐層和回風(fēng)通道組成，由FFU供應(yīng)循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超**過濾器送入工藝層和工藝輔佐層，靜壓層相關(guān)于工藝層為負壓。此外，還有消費輔佐區(qū)為集成電路制作廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包含電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。 集成電路制作對無塵車間環(huán)境的操控有較為嚴(yán)峻的懇求。不同的工藝制程對潔凈度的懇求也各不相同，例如光刻懇求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機械研磨則只需求1000級的環(huán)境即可。 別的，集成電路制作潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)則和懇求，特別是振蕩的操控，在潔凈室的建筑構(gòu)造規(guī)劃上就要有所懇求。