集成電路無塵車間是為了稱心半導(dǎo)體制造工藝需求的干凈室，該無塵車間對環(huán)境干凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的請求。相關(guān)于其他工業(yè)干凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、干凈等級高、溫濕度控制精度高等特征?！　〖呻娐窡o塵車間設(shè)計(jì)施工請求　　依據(jù)干凈室車間空氣循環(huán)特征可以將干凈室分為三品種型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合**送風(fēng)口體系、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封體系和FFU循環(huán)體系?！　?*種方式在小范圍低等級請求的干凈室車間設(shè)計(jì)中被普遍應(yīng)用，關(guān)于大面積高等級的干凈車間則存在運(yùn)轉(zhuǎn)本錢過高、占用空間過大等缺陷?！　〉诙N方式的設(shè)計(jì)可以稱心集成電路制造無塵車間大面積高等級的請求，但運(yùn)轉(zhuǎn)本錢較高，而且干凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)理艱難，體系晉級改造艱難，因此操作靈敏性很低。第三種的FFU循環(huán)體系不只儉省運(yùn)轉(zhuǎn)空間、干凈度平安性高、運(yùn)轉(zhuǎn)本錢低，而且操作靈敏性很高，可以在不影響出產(chǎn)的狀況下隨時(shí)停止體系晉級和調(diào)整，這些都能很好地稱心半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)體系逐步成為最主要的凈化設(shè)計(jì)計(jì)劃。 　　FFU循環(huán)體系的特征是：整個(gè)干凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔佐層和回風(fēng)通道組成，由FFU供應(yīng)循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后經(jīng)過超**過濾器送入工藝層和工藝輔佐層，靜壓層相關(guān)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有出產(chǎn)輔佐區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供給、氣體和化學(xué)品供給、超純水供給等。　　集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)厲的請求。不同的工藝制程對干凈度的請求也各不相同，例如光刻請求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只需求1000級的環(huán)境即可。